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微量水分計

プロセスの一貫性のためのろ過

微量水分検出-太陽電池製造用プロセスガスの品質管理

ポールの優れたシステムは、太陽電池デバイスメーカーが求める品質管理機能を備え、業界最速の情報取得を誇ります。ポールの最先端技術により、300 ppt未満の水分も検出することができます。

 

“ガスクリーン・ピコ1000”微量水分計は、インラインアナライザーとMEMS(マイクロマシン: 微小電子機械システム)が内蔵され、サンプルプロセスガス内の水分濃度を重量測定します。最先端のMEMS技術によりpptレベルでの検知が可能です。持ち運び式であるため、施設のあらゆる重要な箇所に使用でき、プロセス低下を難なく解決することができます。超高純度プロセスガスの適性確認と証明に適しているほか、精製装置の寿命を確認することもできる理想的なシステムです。

 

アルゴン・窒素ガスはマスフローコントローラ(MFC)を通過し、当社独自のコーティングを施した濃縮用MEMSで水分子が捕集されます。分析サイクル終了後、濃縮器は瞬時に加熱され、捕集した水分を蒸発させます。濃縮器と共に、MHzの周波数帯で振動する共振器が搭載されています。共振器には独自技術の化学選択的コーティングが施されており、濃縮器から出る水分の脱着・吸着性能を強化します。このシステムによって吸着された水分の質量が業界最速の速さで測定できます。

 

測定サイクル中、共振器は継続的に振動し、濃縮器は水分を蒸発させます。蒸発中、共振器の周波数帯に変化(ΔHz)が起こると、これが検知され、水分質量に正比例する電気信号に変換されます。

 

“ガスクリーン ピコ1000”微量水分計は、USBデータエクスポート、300 pptvの低い検出下限、堅牢、軽量、多用途設計、診断機能内蔵を特長とします。また従来製品に比べてプロセスガスの消費量が70%削減されています。

 

さらに、持ち運び式、設置後すぐに使用できる「プラグ&プレイ」対応、高速データ収集、業界トップクラスの応答時間、サンプリングガス消費量70%削減、水分検出性能300 ppt未満などの様々な特徴・機能を備えています。また運転コストの低減、システムダウンタイムの減少にも役立ちます。

 

ポールの微量水分計は、プロセスガスの水分濃度と品質を迅速に品質検査することが可能です。是非、お問い合わせください。

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